硅片溫度 Is 12-Si紅外測溫儀
Is 12-Si紅外測溫儀 數(shù)字式高端測溫儀，用于非接觸式測量350℃以上的硅片溫度。
主要特性
用于測量硅片；
350-1800 °C 之間的4種測溫范圍；
光譜范圍：近紅外窄帶，特別用于硅的測量；
6個固定鏡頭和3個調(diào)焦鏡頭；
響應(yīng)時間10毫秒，可調(diào)節(jié)到10秒。
簡要描述
IS 12-Si紅外測溫儀配備了一個近紅外窄帶濾光器。這樣就可以可靠地測量350°C以上的薄硅片，對于紅外輻射來說，低于該溫度，這一薄硅片就是透明的了。在這個特殊的光譜范圍內(nèi)，硅的輻射率為67%，且不受溫度影響。這就使IS 12-Si能夠檢測出硅片的正確溫度。
在溫度范圍內(nèi)測量開始時，IS 12-Si對光是敏感的。這個敏感度隨著溫度的增加而減弱。在溫度范圍開始時需要低溫的應(yīng)用情況下，這一效果可通過篩選光線來得以避免。
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測溫范圍 |
400...900°C 400...1300°C 350...1000°C 500...1800°C |
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測溫次區(qū)間: |
測溫范圍內(nèi)任意可設(shè)置, 最小跨度 51°C |
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測量波段: |
近紅外窄波, 測量硅材料波段 |
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信號處理: |
光信號立即數(shù)字化 |
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絕對精度: |
測量值的0.3%+ 1°C |
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重復(fù)精度: |
測量值的0.1%+ 1°C |
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分辨率: |
接口和數(shù)顯: 0.1°C, 模擬輸出: < 溫度范圍的 0.025 % |
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響應(yīng)時間 t90: |
< 10 ms 可調(diào)為 10 s |
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發(fā)射率 ε: |
0.100 ... 1.000 調(diào)幅 1/1000 |
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模擬輸出: |
線性 0 ... 20 mA 或 4 ... 20 mA, 直流 |
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數(shù)字接口: |
RS232 或 RS485 可切換 |
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瞄準方式: |
內(nèi)置取景器, 附帶激光瞄準 |
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防護等級: |
IP65 (DIN 40050) |
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環(huán)境溫度: |
0...70°C |
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存放溫度: |
-20...70°C |
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相對濕度: |
無冷凝 |
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參數(shù)設(shè)置: |
儀器本機上可進行參數(shù)設(shè)置, 測溫數(shù)據(jù)顯示 |
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CE-標志: |
符合歐盟相關(guān)標準 |
