小目標紅外測溫儀 小光斑紅外測溫儀 低溫金屬 材料的沉積 生長蝕刻移除工藝測溫
簡要描述：
精確的測溫儀，擁有行業(yè)內(nèi)較好的信噪比，可測量低溫，實現(xiàn)控制高價值工藝與研究應用的無可比擬的精確度。我們 的這一配置采用一根藍寶石光桿（也就是“光導管”）作為鏡頭，用以收集來自目標物體的紅外輻射。光導管鏡頭的優(yōu)勢在于，它可測量低溫，且易于安裝在真空反應器內(nèi)，一般用于先進材料的沉積（生長）以及蝕刻（移除）工藝。
光導管鏡頭配置有5種光譜響應（波長），具有以下特點:
主要優(yōu)勢：
● 低溫測量功能（具體內(nèi)容請參照以下表格）
● 30-670°C溫度條件下光譜響應為700-1650nm
● 70-110°C溫度條件下光譜響應為1550nm
● 210-1300°C溫度條件下光譜響應為900nm
● 220-1300°C溫度條件下光譜響應為880nm
● 400-1500°C溫度條件下光譜響應為650nm
● 響應時間短，僅1毫秒
● 精確度+/- 1.5 °C或讀數(shù)的0.15%
● 精度0.01 °C（詳見技術資料TN-828）
模擬輸出(用戶可選4-20mA或0-10V)、以及多通道接口模塊（單個數(shù)字信號最多可使用8個傳感器，串行模擬輸出）可供選擇。標準系統(tǒng)包括所有必要的電纜、電源、電腦接口軟件以及存檔/校正系統(tǒng)。
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