通過石英玻璃透視窗測量半導體氧化溫度解決方案
測溫設備集成于設備內部,對準目標有些許困難
需透視窗測溫,需考慮測溫儀響應波段
場景特點
需要維持在高溫狀態(氧化爐≥1050℃,擴散爐≥850℃)
反應速率較快,對測溫儀響應時間有要求
匹配產品我司提供產品作為解決方案:IGA 6-TV、IGAR 6-TV
核心優勢IGA 6-TV
為近紅外測溫波段,對于石英視窗有更高的透射率;對于金屬被測物有更高的測溫精度
寬測溫量程(250-2500℃)
極快響應速度(120μs)
更好的重復性(0.15%+1℃)
可變焦鏡頭,可調節測距(可從210至2000mm內測溫)
設定內可調多種參數,滿足多種環境需求
具有直觀的視頻模式,且接線簡單