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紅外高溫計在化學氣相沉積 CVD 應用

作者:admina來源:時間:2024-09-10 13:34:20瀏覽量:391人閱讀

  

紅外高溫計在化學氣相沉積 CVD 應用

AST高溫計、AST紅外線測溫計、AST紅外測溫儀、AST、AST測溫顯示儀表、AST電纜、AST測溫頭
主要型號:
A系列:A250 PL/TL、A450 PL/TL、A150、A450CPL/TL
E系列:E250 PL、E450 PL、E450C PL、EL50、EL50-H
AL系列: AL30、AL390、AL514、AL45
T系列:T2-250、T2-450、TL8、TL514、TL390
AB3000、AE3000、AC3000、AM3000、P3000、FR3000、PS3000、P110、A4、TFV750/1100

化學氣相沉積 (CVD) 工藝是一種涂層工藝,它在加熱的基材表面使用熱誘導化學反應,試劑以氣態形式(CH4 和 H2 等離子體)提供  CVD 工藝在真空爐中進行,溫度范圍為 600 至 2500 攝氏度。在此過程中,將一片晶種薄片放置在密封室中并加熱到 800 攝氏度左右。然后在該室中填充碳達到的氣體(CH4 &H2),在這個過程中,來自氣體的離子被解離,從而增加了石墨烯在襯底上的沉積,即目標晶種上的碳和氫等離子體。
高溫計該應用程序的挑戰性部分是等離子體發射特定波長的紅外能量,我們需要通過等離子體測量目標的一致溫度。 AST 提供基于非接觸式紅外的高溫計,可在等離子體透明的選定波長下工作。由于 CVD 是一個耗時的過程,因此儀器的高精度和穩定性至關重要。
PLUSFO-CVD紅外測溫儀, 具有內置溫度顯示、模擬和數字輸出、繼電器輸出和參數設置按鍵。它的傳感頭非常小,安裝非常方便。通過 RS 232 或 RS 485 在電腦中連續記錄過程數據。

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