氮氣純度：

99.999％ ； 含氧量<3PPM；含水露點－56℃

氮氣流量：

0－500ml/min  （壓力在0.4MPa時）

氮氣壓力：

0.4MPa

氮氣壓力穩定性

< 0.003MPa

氫氣純度：

99.999％    ；含氧量<3PPM；  含水露點－56℃

氫氣流量：

0－500ml/min

氫氣壓力：

0.4MPa

氫氣壓力穩定性：

< 0.001MPa

空氣流量：

0－2000ml/min(三級過濾)

空氣壓力：

0－0.5MPa

空氣壓力穩定性:

< 0.003MPa

環境溫度：

1-40℃

相對濕度：

< 85％

工作電壓：

220V±10％

消耗功率：

400W(單相)

工作噪音：

< 40dB（A）

外形尺寸：

540×420×390（mm）

凈    重：

38Kg